「中華電子佛典協會」（Chinese Buddhist Electronic Texts Association，簡稱 CBETA）由恆清法師發起，結合佛教界從事佛典電子化的團體及個人，於 1998 年 2 月 15 日成立，並委請「財團法人菩提教育基金會」（1998 年 2 月～2001 年 1 月）和「財團法人西蓮教育基金會」（2001 年 2 月開始）協助營運。
2021 年底，CBETA 主任委員惠敏法師提出 CBETA 永續發展議題，經恆清法師、法鼓山方丈和尚等相關人士討論，開始籌備成立財團法人基金會。
繼而財團法人法鼓山佛教基金會（1,300 萬）、西蓮淨苑（500 萬）、靜思人文志業股份有限公司（400 萬）、釋恆清、法雨山普宜苑、釋照印、福嚴精舍、圓光寺、詹益堃、詹益閔、打鼓岩元亨寺等（各 100 萬，依捐助承諾順序記載）共捐助 3,000 萬元整，於 2023 年 4 月 8 日召開捐助人籌備會議，推選釋果毅、釋惠敏、何日生、邱大剛、釋圓悟、釋性儀、釋法持、陳光華、洪振洲等為董事；並召開第一屆董事會，推選釋惠敏為董事長，洪振洲董事兼任執行長。
後續備齊相關文件，向主管機關內政部申請設立全國性宗教財團法人「財團法人佛教電子佛典基金會」（Comprehensive Buddhist Electronic Text Archive Foundation，簡稱 CBETA Foundation 或 CBETA 基金會），於 2023 年 8 月 7 日完成設立程序，繼續建立各種佛教藏經與著作之電子佛典集成資料庫與數位平台，推動佛教資訊化相關專案，促進佛教數位傳播之交流與發展。
